SK海力士4月1日宣布，近期与韩国半导体气体制造企业（TEMC）合作，于业内首次开发了氖(Ne)气回收技术。由于近期国际局势不稳定，公司长期依赖的进口氖气供应不确定性增大。为应对这一挑战，公司决定与韩国材料及设备企业合作，共同开发氖气回收技术，并仅在一年多内就取得了显著成果。
今年2月，SK海力士公布了 “再生材料使用中长期路线图”，并提出2025年将再生材料的使用比例提高到25%、2030年提高到30%以上的目标。与该路线图目标保持一致，此次氖气回收技术的开发将成为材料回收部门一项有意义的成就。
图1. 氖气回收工序
作为一种稀有气体1，氖气是半导体光刻工艺2中所必需使用的准分子激光气体（Excimer Laser Gas）的主要组成部分。当氖气作为激光光源使用时，具备不发生化学分解或转变的特性。因此,使用过的氖可以通过分离和净化去除杂质，以便回收再利用。
认识到这一点后，公司成功开发出氖气回收技术。在完成光刻工艺后，SK海力士与TEMC通过洗涤器3将排放到空气中的氖气捕集到集气罐中；TEMC通过气体处理工艺有选择性地对氖气进行分离和净化；提纯后的氖气供应给SK海力士，用于半导体制造。目前，公司的氖气回收率（排放量*收集量*净化率）已达到72.7%。SK海力士计划继续提高净化率，将回收率提高至77%。
1稀有气体（Rare Gas）：是一种在空气中含量极少、难以大量生产，且不可进行人工制造的超稀有工业气体，包括氦（He）气、氖（Ne）气、氩（Ar）气、氪（Kr）气、氙（Xe）气、氡（Rn）气等。
2光刻工艺 （Photolithography）：使用激光等技术在晶圆上绘制半导体电路的工艺。
3洗涤器（Scrubber）：在半导体生产过程中，用于过滤和去除所产生的气体及化合物的装置。
SK海力士携手合作伙伴通过“一个团队”体系通力合作，以减少采购成本
图2. SK海力士与材料及设备合作商携手，共同进行氖气回收
公司强调，这项技术的开发是SK海力士和材料及设备合作商，以各自领域的专业知识为基础紧密合作取得的成果。未来，公司计划进一步与具备专业性的公司发展合作伙伴关系。
如果氖气回收技术应用于半导体厂商，预计每年将节省约400亿韩元4的氖气采购费用。
4根据2022年氖气单价及龙仁半导体集群内一座晶圆厂施行的适用标准。
迈出“2025年开发十项再生材料回收技术目标”的第一步
图3. 材料回收部门成员，（左起）宋奂旭TL、宋夫燮组长、及郑镛俊TL 共同参加材料回收技术会议
氖气再利用技术的开发，由SK海力士碳管理委员会5旗下材料回收部门6主导，其最终目标是对半导体制造工艺中，所有未发生化学降解或转化的材料进行回收再利用。该部门计划于2025年前开发包括氖气、氘气（D2）、氢气（H2）、氦气（He）四种气体材料和硫酸（H2SO4）等化学材料在内的共10种原材料的回收再利用技术。公司计划的目标是，到2030年完成对所有未发生化学变化材料的技术审查。
5碳管理委员会：是一个由研究、制造、设备、环境、采购等部门组成的跨部门组织，旨在实现2050年的净零排放目标。该委员会正在推进低能耗设备开发、工艺气体减排、及以AI/DT技术为基础的节能工作。
6材料回收部门：作为碳管理委员会旗下的12个部门之一。该部门以未经化学降解的材料为对象，开发回收再利用技术，进而构建支持材料循环再利用的工厂环境。
图4. 开发回收技术的5个阶段
为此，该部门根据“技术成熟度”，将回收技术步骤分为五个阶段，并计划到2025年前，确保包括氖气在内的10种原材料达到第三阶段（材料质量认证）或其以上的 技术水平。(如上图）
SK海力士的最终目标是，计划解决对国外材料供应高度依赖的问题，为提升公司竞争力做出贡献。
